fujikura藤仓FPM-100被动除振台FPM-200\300详细介绍
fujikura藤仓FPM-100被动除振台FPM-200\300
被动除振台
■高除振特性，省空间设计
弊公司的蛇腹式橡胶膜片适用于除振台，不仅拥有高除振特性，还实现了除振台本体的小型化，及由于膜片壁的薄型化实现了高应答特性。
■专用设计
低固有振动数调整的外接气罐，被动支撑的主动化等，可以对应客户的专用设计。
用途
■减轻精密装置地面的振动
半导体制造装置，半导体检查装置，液晶曝光装置，精密测定装置，精密加工机械，及其他精密设备等
