| 是否进口：否 | 产地：日本 | 加工定制：否 |
| 类型：显微分光膜厚仪 | 品牌：OTSUKA大塚电子 | 型号：OPTM-A1 |
| 测量范围：/mm |
OTSUKA大塚电子显微分光膜厚仪OPTMseriesA1型号
顯微分光膜厚計OPTM series
非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ●OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有***可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程
反射率分析
多层膜解析（50层）
光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可完全不受其影响，单独测量上面的膜。
应用范围
半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
光学材料：滤光片、抗反射膜
平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
其它：建筑用材料、胶水、DLC等
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |||
| 波長範圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm | ||
| 膜厚範圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm | ||
| 測定時間 | 1秒 / 1點 | ||||
| 光徑大小 | 10μm (最小約5μm) | ||||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |||
| 光源規格 | 氘燈+鹵素燈 | 鹵素燈 | |||
| 電源規格 | AC100V±10V 500VA（自動樣品台規格） | ||||
| 尺寸 | 556(W) × 566(D) × 618(H) mm (自動樣品台規格之主體部分) | ||||
| 重量 | 約 55kg（自動樣品台規格之主體部分） | ||||
选型表
波长范围 | 自动XY平台型 | 固定框架型 | 嵌入头型 |
230 ~ 800nm | OPTM-A1 | OPTM-F1 | OPTM-H1 |
360 ~ 1,100nm | OPTM-A2 | OPTM-F2 | OPTM-H2 |
900 ~ 1,600nm | OPTM-A3 | OPTM-F3 | OPTM-H3 |
物镜
类型 | 倍率 | 测量光斑 | 视野范围 |
反射对物型 | 10x lens | Φ 20μm | Φ 800μm |
20x lens | Φ 10μm | Φ 400μm | |
40x lens | Φ 5μm | Φ 200μm | |
可视折射型 | 5x lens | Φ 40μm | Φ 1,600μm |
